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等离子体是一种相对较新的表面处理技术,始于二十世纪六十年代。等离子体具有高电荷的粒子(电子,离子和中性原子)以激发,电离或破坏反应物分子,从而产生一系列蚀刻,聚合,交联以及其他复杂的物理化学作用。等离子体处理深度只有非常薄的表面层,通常为几纳米到几百纳米,却能够显著改变界面特性,而不会对基材产生太大影响,因此被广泛用于改性聚合物的表面性能。
低温等离子体内部富含有电子、离子、自由基和激发态分子,其中高速运动的电子与反应腔中的气体分子、原子发生碰撞,将能量传递给这些分子和原子,当能量足够大时,可激发产生新的离子、电子、亚稳态粒子或生成自由基产生各种不同活性物种,与材料表面发生反应或者材料表面打开的官能团本身相互反应,从而影响材料表面性能。
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